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사업실적
총 48 건
한국알박 (ULVAC Korea)
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Date
2023/01
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Client
한국알박 (ULVAC Korea)
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Product
PEALD (12” Wafer)
Docking to TM (Sputter Cluster)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
한국세라믹기술원 (Korea)
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Date
2022/05
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Client
한국세라믹기술원 (Korea)
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Product
PEALD/ALE (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
Shanghai Univ
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Date
2019/08
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Client
Shanghai Univ. OLED Center (China)
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Product
PEALD (200x200mm2 Glass)
Docking to TM (OLED Cluster)
Bottom –> Up Deposition
(No using Flip Chamber)
400℃, RF Plasma (13.56MHz)
ASM Korea R&D
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Date
2023/01
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Client
ASM Korea R&D
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Product
PEALD (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 600℃
RF Plasma (60M, 20M, 13.56MHz) R&D
아주대학교
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Date
2023/01
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Client
아주대 서형탁 교수
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Product
Nexus Plaminar
파워큐브세미
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Date
2022/10/30
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Client
파워큐브세미
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Product
Nexus Plaminar
차세대전력반도체
Al2O3 , HfO2 등
한국광기술원
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Date
2021/06/30
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Client
한국광기술원
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Product
Nexus Plaminar
Micro LED
Al2O3 등 Passivation
(주)제이아이테크
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Date
2022/06/30
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Client
(주)제이아이테크
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Product
Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
IGZO 등
충남대학교
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Date
2022/06/30
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Client
충남대 김현석 교수
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Product
Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
IGZO 등
㈜보다
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Date
2022/04/30
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Client
㈜ 보다
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Product
Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
Al2O3 , Vox 등
세종대학교
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Date
2022/01/30
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Client
세종대 최택집 교수
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Product
Nexus Plaminar
소자 연구
Al2O3 , HfO2 등
한국세라믹기술원
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Date
2021/12/23
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Client
한국세라믹기술원
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Product
Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
TiO2 , HfO2 등
세종대학교
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Date
2021/08/19
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Client
세종대 임유승 교수
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Product
Nexus Plaminar
차세대 소자 연구
Al2O3 , HfO2 등
아주대학교
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Date
2021/04/19
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Client
아주대 서형탁 교수
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Product
Nexus Plaminar
TCO 연구
Al2O3, HfO2
메카로
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Date
2021/02/05
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Client
메카로
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Product
Nexus Plaminar
자체 제조 Precursor 평가
한양대학교
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Date
2020/07/25
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Client
한양대 정재경 교수
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Product
Nexus Plaminar
Channel Layer
IGZO 등