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[언론보도] 넥서스비, 차세대 ALD 장비 기술 주목

 

전 세계 반도체 수요 증가로 ALD(원자층 증착) 기술의 중요성이 커지는 가운데, 넥서스비가 시·공간분할 ALD 기반 핵심 기술을 통해 정밀도와 생산성을 동시에 확보한 기업으로 주목받고 있다.

(중략)

최학영 대표는 “메모리의 3D 구조와 비메모리 chip의 3D Gate구조가 완벽한 ALD 막을 요구하고 있지만, 기존 장비로는 한계가 확인된 상황”이라며 “시장에서는 새로운 플랫폼 기반 장비 기술이 요구되고 있다”고 밝혔다.


관련 기사 : http://www.engjournal.co.kr/news/articleView.html?idxno=3559

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