양산용 ALD | 넥서스비 Nexus-T-Max 고효율 원자층 증착 시스템

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Product

Nexus S-Max

Nexus S-Max (공간분할 ALD)

Display용 공간분할 ALD

고생산성 진공/상압 다층 박막 증착

신규 OLED Display 공정 적용 장비

- Display용 대면적 8.6G 공정
- OLED전력소모량 개선/대면적화
  Oxide적용
- 4.5G ALD → 8.6G ALD Scale Up
- 초대형 OLED 기판의 저손상·고균일
  IGZO 증착

양산용 ALD

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다성분계 산화물 기술 적용을 통한
고품질, 고균일, 저손상의 산화물 TFT층 양산 공정 확보

페로브스카이트 솔라셀 공간분할 ALD (2-in-1)

2매 동시 공정을 통한 고생산성 (2-in-1)

페로브스카이트 솔라셀 ETL, Passivation 공정 적용

- 동일 챔버내 2매 동시 진행으로 생상성 향상
- 우수한 박막 균일성
- 신속한 공정 속도, 대면적 양산에 적합

양산용 ALD

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공간 분할 기술로
차세대 페로브스카이트 솔라셀 공정의 새로운 기준 제시

Item	Description
Growth Per Cycle [Å/Cycle]	0.8
Cycle Time [sec]	0.85
Deposition Rate [Å/min]	60 ~ 70
Refractive Index	>1.60 (Glass) >1.57 (Si)
Uniformity [%]	<3.2
O/Al Ratio	1.60
Step Coverage [%]	Side : 95 / Bottom : 96
Transmittance [%]	98
WVTR [g/m²·day]	Single Layer	4 × 10⁻³, 5 × 10⁻⁴
WVTR [g/m²·day]	Nano Laminate	<5 × 10⁻⁵
Surface Roughness [RMS: Å]	2.1
Stress [MPa]	+250
Hydrogen Contents [%]	14
Area Density [atoms/cm²]	4.53 × 10¹⁷

Item		Description
Process Type		Thermal Spatial Divide ALD
Glass Size [mm]		730 × 920 (G4.5)
PM Foot Print [mm]		4480 × 3760 × 3T
Area of Foot Print [m²]		≥ 1.5
Ratio of Foot Print		≤ 3
Cycle Time [sec]	200 mm/sec	11.4
	400 mm/sec	6.7
	600 mm/sec	5.1
	800 mm/sec	4.3
GPC [Å/Cycle]		1
Target Thickness [Å]
Process Time [sec / sheet]	200 mm/sec	213.7
Process Time [sec / sheet]	400 mm/sec	125.6